| 塵埃粒子計(jì)數(shù)器如何進(jìn)行3Q認(rèn)證服務(wù) |
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塵埃粒子計(jì)數(shù)器如何進(jìn)行3Q認(rèn)證服務(wù)
表面粒子計(jì)數(shù)器如何進(jìn)行3Q認(rèn)證服務(wù)
“表面粒子計(jì)數(shù)器”通常指用于潔凈環(huán)境(如制藥、電子、航空航天等行業(yè))中監(jiān)測(cè)空氣中塵埃粒子數(shù)量和粒徑分布的儀器,主流類型包括?激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器?和?凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器(CPC)???。在受監(jiān)管行業(yè)(如GMP環(huán)境)中,這類設(shè)備常需進(jìn)行?3Q認(rèn)證?(即IQ、OQ、PQ),以確保其安裝、運(yùn)行和性能符合預(yù)期要求。 ?什么是3Q認(rèn)證??3Q認(rèn)證是針對(duì)儀器或系統(tǒng)的三個(gè)確認(rèn)階段,不等同于“認(rèn)證”(Certification),而是?確認(rèn)?(Qualification)過程,核心目的是證明設(shè)備在實(shí)際使用條件下能持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行并滿足規(guī)定要求??:
表面粒子計(jì)數(shù)器Y09-110SPD 特點(diǎn):
·符合T/CAMDI 009.1-2020,ISO 21501-4-9,T/CAMDI 009.1-2020,IEST-STD-CC1246D和21 CFR-Part11標(biāo)準(zhǔn)
特點(diǎn): Y09-110SPD型表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器通過氣流方式將附著在表面的顆粒重新進(jìn)行懸浮,通過采集懸浮顆粒,使用基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理,獲取懸浮粒子的散射光信號(hào),進(jìn)行計(jì)數(shù)顯示。 主要用于半導(dǎo)體晶圓表面、光學(xué)元件、集成電路板等生產(chǎn)環(huán)境檢測(cè)。為半導(dǎo)體制程工藝提供數(shù)據(jù),提高良品率與可靠性。
原創(chuàng)作者:蘇州星源潔凈環(huán)境科技有限公司 |
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