| QFL-XY-5XX系列三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái) |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：北京 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：北京順氣區(qū) | |
| 上架時(shí)間：2026-02-03 20:43:13 | 瀏覽量：15 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式： | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：實(shí)驗(yàn)室設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室儀器 | 主要客戶：高校，企業(yè)，科研單位 | |
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產(chǎn)品特點(diǎn) 三軸直驅(qū)式結(jié)構(gòu) 結(jié)構(gòu)緊湊、亞微米級(jí)精度 XY軸氣浮結(jié)構(gòu) Z軸楔形平升結(jié)構(gòu) 根據(jù)需求可定制 高柔線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域 三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)中的XY軸為氣浮結(jié)構(gòu)，Z軸為楔形平升結(jié)構(gòu)，外觀結(jié)構(gòu)緊湊，用于飛秒激光加工，基因測(cè)序，光學(xué)檢測(cè)和微光刻技術(shù)等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn) XY軸為開(kāi)式氣浮，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，十字疊層具有體積小，精度高等特點(diǎn)，能有效降低減小阿貝誤差影響。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。Z軸直驅(qū)楔形平升結(jié)構(gòu)，無(wú)絲桿、聯(lián)軸器等中間傳動(dòng)裝置，提高了結(jié)構(gòu)模態(tài)和整定性能，三軸結(jié)構(gòu)緊湊，同時(shí)優(yōu)化了系統(tǒng)剛度。
精度性能 XY軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±50nm，雙向重復(fù)定位精度±15nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Roll Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±0.05μm，直線度±1.5μm。
線纜管理 使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì)，運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。
定制化 XY軸可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，重復(fù)定位精度±15nm。行程也可接受定制。
規(guī)格指標(biāo)
注： 以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測(cè)量時(shí)溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。 1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。 2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。 3. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。 4. 無(wú)特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。 |
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