產(chǎn)品特點
SiC導(dǎo)軌，超高性能精度
重復(fù)定位精度±15nm
平面式氣浮結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)誤差影響
剛度比鋁合金導(dǎo)軌提高了5倍
龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強
高速，快速的整定時間
可選激光尺、干涉儀位置反饋
優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFDHSiC-XY系列碳化硅版平面式氣浮運動臺，采用有限元分析優(yōu)化碳化硅結(jié)構(gòu)和優(yōu)化的氣浮軸承補償設(shè)計技術(shù)，提高精度的同時，也提高動態(tài)性能，用于晶圓曝光、大尺寸飛秒激光加工、刻劃光柵及無圖形晶圓缺陷檢測等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點
QFDHSiC-XY系列采用碳化硅材質(zhì)，具有非常好的剛度，是鋁制結(jié)構(gòu)的5倍，熱膨脹系數(shù)降低了約5倍，利用有限元分析優(yōu)化碳化硅導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，使設(shè)備達(dá)到高速運動而沒有犧牲動態(tài)跟蹤幾何性能和熱穩(wěn)定性。新型氣浮軸承補償方式，極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。
精度性能
采用無鐵芯直線電機驅(qū)動，交叉解耦控制算法提供雙驅(qū)軸的運動同步性能，氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)無摩擦、無振動地平滑移動，由于非接觸式結(jié)構(gòu)，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用帶屏蔽的高柔排線，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能。同時適用無塵車間。
定制化
根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺或晶圓裝卸用的夾具。可選用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升精度性能。
規(guī)格指標(biāo)
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-300-300
|
QFDHSiC-300-500
|
|
軸系A(chǔ)xis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
300
|
300
|
300
|
500
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±50
|
±50
|
±100
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
±75
|
±150
|
|
單向重復(fù)定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±3
|
±3
|
±7.5
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±10
|
±10
|
±20
|
|
雙向重復(fù)定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±5
|
±5
|
±10
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±15
|
±15
|
±30
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
±0.15
|
±0.15
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.45
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
±0.15
|
±0.15
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.45
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.4
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.5
|
±0.5
|
±1
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負(fù)載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-300-700
|
QFDHSiC-300-1000
|
|
軸系A(chǔ)xis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
300
|
700
|
300
|
1000
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±150
|
±50
|
±200
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±200
|
±75
|
±300
|
|
單向重復(fù)定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±15
|
±3
|
±40
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±40
|
±10
|
±75
|
|
雙向重復(fù)定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±20
|
±5
|
±50
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±60
|
±15
|
±100
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
±0.4
|
±0.15
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±0.75
|
±0.25
|
±1
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
±0.4
|
±0.15
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±0.75
|
±0.25
|
±1
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.1
|
±0.75
|
±0.1
|
±0.8
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±1.5
|
±0.5
|
±2
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負(fù)載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-350-350
|
QFDHSiC-350-500
|
|
軸系A(chǔ)xis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
350
|
350
|
350
|
500
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±50
|
±50
|
±100
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
±75
|
±150
|
|
單向重復(fù)定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±3
|
±3
|
±7.5
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±10
|
±10
|
±20
|
|
雙向重復(fù)定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±5
|
±5
|
±10
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±15
|
±15
|
±30
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.45
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.45
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.4
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.5
|
±0.5
|
±1
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負(fù)載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-350-700
|
QFDHSiC-350-1000
|
|
軸系A(chǔ)xis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
350
|
700
|
350
|
1000
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±150
|
±50
|
±200
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±200
|
±75
|
±300
|
|
單向重復(fù)定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±15
|
±3
|
±40
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±40
|
±10
|
±75
|
|
雙向重復(fù)定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±20
|
±5
|
±50
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±60
|
±15
|
±100
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.2
|
±0.4
|
±0.2
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.75
|
±0.3
|
±1
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.2
|
±0.4
|
±0.2
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.75
|
±0.3
|
±1
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.2
|
±0.75
|
±0.2
|
±0.8
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±1.5
|
±0.5
|
±2
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負(fù)載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-400-400
|
QFDHSiC-400-500
|
|
軸系A(chǔ)xis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
400
|
400
|
400
|
500
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±50
|
±50
|
±100
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
±75
|
±150
|
|
單向重復(fù)定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±3
|
±3
|
±7.5
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±10
|
±10
|
±20
|
|
雙向重復(fù)定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±5
|
±5
|
±10
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±15
|
±15
|
±30
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
±0.35
|
±0.35
|
±0.45
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
±0.35
|
±0.35
|
±0.45
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.4
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.5
|
±0.5
|
±1
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負(fù)載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-400-700
|
QFDHSiC-400-1000
|
|
軸系A(chǔ)xis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
400
|
700
|
400
|
1000
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±150
|
±50
|
±200
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±200
|
±75
|
±300
|
|
單向重復(fù)定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±15
|
±3
|
±40
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±40
|
±10
|
±75
|
|
雙向重復(fù)定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±20
|
±5
|
±50
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±60
|
±15
|
±100
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.4
|
±0.25
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
±0.75
|
±0.35
|
±1
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.4
|
±0.25
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
±0.75
|
±0.35
|
±1
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.3
|
±0.75
|
±0.3
|
±0.8
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±1.5
|
±0.5
|
±2
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負(fù)載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，測試點在負(fù)載板上25mm處，測試環(huán)境，請咨詢我們。
1. X軸為橫梁軸，Y軸為雙驅(qū)龍門軸，行程可根據(jù)需求定制；
2. 重復(fù)定位精度≤ ±10nm，需要加激光尺或雙頻干涉儀和長條反射鏡做反饋；
3. 取決于平臺安裝表面的平面度；
4. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)，電子分辨率≤0.1nm，需要用干涉儀做反饋；
5. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大。
6. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）
7. 無特殊項目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。
在線咨詢 
