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合肥栗山銷售GET CONTROL振動測試儀INT02001 FOUP

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GCl 的三軸加速度計(jì)測試工具為AMHS供應(yīng)商和終端用戶提
供了精確的振動測量解決方案。該工具(亦稱為GCI振動測
試儀)最初的設(shè)計(jì)目的是用于測量手動運(yùn)輸過程中150mm
和 200mm晶圓所經(jīng)歷的振動水平。隨著晶圓尺寸的增加，
該振動測試儀在分析300mm FOUP運(yùn)輸解決方案方面發(fā)揮
了重要作用。標(biāo)準(zhǔn)包裝使Vib Tool(INT02001)能夠安全地
安裝在300 mm FOUP內(nèi)。新型包裝則使GCI振動測試儀(
INT02001-R)也可用于150mm網(wǎng)格運(yùn)輸分析的場合。
GCI振動工具提供兩種記錄模式:時域和板載數(shù)據(jù)降采樣。對于這兩種模式，
時間域數(shù)據(jù)在每個軸(X、Y和Z)上以512赫茲的頻率進(jìn)行采樣。
時間域模式可將采樣數(shù)據(jù)直接傳輸至內(nèi)部閃存存儲器。該模
式下的數(shù)據(jù)縮減過程需在PC上通過GCIVibPlot應(yīng)用程序完
成，該程序可對時間域數(shù)據(jù)進(jìn)行詳盡的圖形分析。
機(jī)載減幅模式利用數(shù)據(jù)縮減算法將時域振動數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為頻域
、多點(diǎn)數(shù)據(jù)記錄。以512 Hz的采樣速率獲取的時域數(shù)據(jù)經(jīng)
轉(zhuǎn)換(使用快速傅里葉變換和平均方法)后，可實(shí)時生成一
系列1/2秒的數(shù)據(jù)記錄。轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)被流式傳輸至內(nèi)部閃
存存儲器。在這種模式下，時域數(shù)據(jù)無法用于后續(xù)的縮減分
析。