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高純氧是以氧氣（O?）為主成分的無色無臭無味氣體，純度≥99.995%，雜質(zhì)含量極低。其液態(tài)密度達1141kg/m?（-182.96℃），沸點-182.96℃，熔點-218.78℃，物理性質(zhì)穩(wěn)定但不可燃且具有強助燃性，能與多數(shù)元素發(fā)生氧化反應。

環(huán)狀結(jié)構(gòu)與鏈狀結(jié)構(gòu)圖元素都能與氧氣反應，這些反應稱為氧化反應，而經(jīng)過反應產(chǎn)生的化合物（有兩種元素組成，且一種元素為氧元素）稱為氧化物。一般而言，非金屬氧化物的水溶液呈酸性，而堿金屬或堿土金屬氧化物則為堿性。此外，幾乎所有的有機化合物，可在氧中劇烈燃燒生成二氧化碳與水�；瘜W上曾將物質(zhì)與氧氣發(fā)生的化學反應定義為氧化反應，氧化還原反應指發(fā)生電子轉(zhuǎn)移或偏移的反應。

高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質(zhì)，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。