| 深圳志昇供應半導體芯片使用真空無塵烤箱 |
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價格： 元(人民幣) | 產地：廣東深圳市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：廣東深圳市 | |
| 上架時間：2025-09-19 10:10:39 | 瀏覽量：47 | |
志昇自動化設備(深圳)有限公司
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| 經營模式：生產加工 | 公司類型：私營獨資企業(yè) | |
| 所屬行業(yè)：節(jié)能設備 | 主要客戶： | |
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深圳志昇半導體真空無塵烤箱通過ISO Class 5級潔凈度認證，采用多層不銹鋼腔體與磁流體密封技術實現≤0.1ppm氧含量控制，其快速升降溫系統(tǒng)可在15分鐘內完成200℃至-50℃的工藝循環(huán)，配備32點溫度均勻性監(jiān)測模塊確保芯片受熱標準差＜±0.5℃。設計的晶圓承載架支持8/12英寸硅片全自動傳輸，真空泵組維持10^-3Pa極限真空度時能耗較傳統(tǒng)機型降低40%，集成式微粒監(jiān)控系統(tǒng)實時檢測0.1μm以上顆粒物并觸發(fā)等離子清潔程序。特殊開發(fā)的防靜電涂層與RFID追溯系統(tǒng)構成雙重防護體系，使該設備在BGA封裝、3D IC堆疊等先進工藝中實現99.998%的良品率，其模塊化設計支持與SMEMA標準產線無縫對接，平均故障間隔時間達8000小時，成為華為海思、中芯國際等企業(yè)的工藝裝備。
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