| HMDS預(yù)處理真空烘箱 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：江蘇昆山市 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2025-08-29 09:53:48 | 瀏覽量：85 | |
蘇州伊諾華科工業(yè)設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式： | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：干燥箱/干燥柜 | 主要客戶： | |
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HMDS烘箱，晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理，增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理，集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過(guò)多次預(yù)抽真空，充氮加熱循環(huán)進(jìn)行，既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散，并且可以通過(guò)加液系統(tǒng)在硅片表面開(kāi)成HDMS保護(hù)膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復(fù)性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對(duì)人體無(wú)害的顯著優(yōu)點(diǎn)；也可用于晶片其它工藝的清洗。
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