| PFA~PTFE半導(dǎo)體防靜電涂層，耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿防靜電涂層 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：上海 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：浦東新區(qū) | |
| 上架時(shí)間：2025-07-30 09:25:59 | 瀏覽量：42 | |
上海雍昌環(huán)？萍加邢薰
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| 經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工 | 公司類(lèi)型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：金屬表面處理及設(shè)備 | 主要客戶(hù)：各類(lèi)金屬制品廠(chǎng)家、軸承制造商、機(jī)械零部件、醫(yī)療器械、軍工航天航空 | |
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| 聯(lián)系人:吳笛 (小姐) | 手機(jī):13061803373 |
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在半導(dǎo)體設(shè)備和制造過(guò)程中，部分關(guān)鍵部件既需要耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿，又需要防靜電性能，主要集中在與濕法制程（Wet Process）、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）、清洗設(shè)備 和 晶圓搬運(yùn)系統(tǒng) 有關(guān)的配件。以下是常見(jiàn)需要雙重性能（防腐蝕+防靜電）的部件類(lèi)型：電阻10的4次方Ω-10的9次方Ω ? 一、典型部件清單 部件使用場(chǎng)景對(duì)防腐要求對(duì)防靜電要求 晶圓承載盤(pán)（Wafer Boat/Carrier） 濕法蝕刻、清洗 耐HF、H?SO?、KOH 等強(qiáng)腐蝕液體 防止靜電積累損壞晶圓 晶圓夾具（Cassette, FOUP, Reticle Pod） 晶圓搬運(yùn)、儲(chǔ)存 需一定耐化學(xué)性（高潔凈要求） 防止靜電放電（ESD） 化學(xué)藥液泵體/閥門(mén) 濕法制程、清洗機(jī) 長(zhǎng)期接觸強(qiáng)酸堿（如HF、HCl） 防止靜電打火或吸附顆粒 管路（Tubing）與接頭 藥液輸送系統(tǒng) 耐化學(xué)腐蝕 材料或內(nèi)襯防靜電（避免產(chǎn)生顆粒） 濕法清洗槽內(nèi)襯或托盤(pán) RCA 清洗、BOE 清洗槽等 接觸H?SO?、NH?OH、HF等 防止靜電對(duì)晶圓造成擊穿 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（CMP）夾具或罩體 CMP 制程 接觸拋光液和酸堿性清洗液 防止靜電積累影響研磨 噴淋臂（Spray Arm）或噴嘴 濕法設(shè)備中藥液噴淋系統(tǒng) 要求耐酸堿且清潔性高 防靜電避免噴射不均勻 電鍍?cè)O(shè)備中的導(dǎo)液槽或承載裝置 銅電鍍、鎳電鍍等 接觸含酸或強(qiáng)氧化性液體 防止靜電影響沉積均勻性 晶圓傳送平臺(tái)或機(jī)械手表面材料 多種制程之間的搬運(yùn)系統(tǒng) 需適當(dāng)防腐以抵御殘留化學(xué)品 避免ESD損傷芯片或摻雜結(jié)構(gòu) ? 二、常見(jiàn)材料選擇 為了滿(mǎn)足防腐+防靜電雙重需求，常用的材料包括： 材料類(lèi)型特點(diǎn) 導(dǎo)電型 PTFE（防靜電PTFE） 加碳黑或金屬氧化物改性，耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿又抗靜電 ECTFE + 防靜電改性 優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性，適用于電鍍槽、化學(xué)槽等 PVDF（聚偏氟乙烯） + 導(dǎo)電填料 耐化學(xué)性好，可抗一定濃度酸堿，常用于泵體 PFA 防靜電級(jí)別 半導(dǎo)體級(jí)耐高溫、耐化學(xué)腐蝕，部分用于晶圓承載 防靜電聚碳酸酯（ESD-PC）或PEEK 適用于設(shè)備外殼、觀(guān)察窗，耐腐性能略遜但可工程化 導(dǎo)電陶瓷或涂層（如CrSiN） 對(duì)高潔凈度和耐腐蝕/抗靜電有高要求時(shí)使用 ? 三、典型應(yīng)用示意 在HF濕蝕刻制程中，晶圓承載盤(pán)需使用防靜電PTFE或PFA涂層，防止 HF 腐蝕且避免靜電積聚； 在CMP研磨系統(tǒng)中，晶圓夾具需避免拋光液腐蝕和避免因靜電導(dǎo)致顆粒吸附； 在電鍍制程中，導(dǎo)液系統(tǒng)和載體要兼具防腐蝕能力和導(dǎo)電性，避免沉積異常。 |
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