| 太陽能光伏擴散爐 |
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價格：1 元(人民幣) | 產(chǎn)地：山東青島市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：山東青島市 | |
| 上架時間：2024-10-21 08:26:25 | 瀏覽量：35 | |
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。 技術(shù)指標(biāo)： 可處理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm 外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu) 載片量：400片／管 擴散方式：閉管擴散、軟著陸全封閉 工作溫度：200℃—1300℃ 恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±1℃ 單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃／24h 溫度控制：5段控溫 總功率：120KVA 送片裝置：懸臂推拉舟，碳化硅槳最大載重17kg 氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管 氣體控制：進口MFC 控制方式：工控機、觸摸屏 Thinnerwafers：180Um Break rate：0.8％ 方阻均勻度范圍：片內(nèi)±5％，片間±5％，批間±5％ |
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