| LED專用爐 |
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價格：1 元(人民幣) | 產(chǎn)地：山東青島市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：山東青島市 | |
| 上架時間：2024-10-21 08:21:24 | 瀏覽量：22 | |
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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| 所屬行業(yè)：電子產(chǎn)品制造設(shè)備 | 主要客戶： | |
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LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。 主要性能指標(biāo)： 外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)，水平爐管 工作溫度：200℃—1100℃ 恒溫區(qū)長度：≥600mm 硅片規(guī)格：適用于2—6英寸硅片以及碎片 恒溫區(qū)精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi)) 單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內(nèi)) 溫度過沖平衡：載料進爐，溫度平衡到工藝時間，低于10分鐘 工藝氣體及控制：氮氣、氧氣，MFC或浮子流量計控制 氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PaM3/S 送料機構(gòu)：懸臂石英桿載料，手動 報警系統(tǒng)：工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警 控制方式：工控機總程控制、觸摸屏控制 |
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