| POLOS 光譜測(cè)量?jī)x器用于半導(dǎo)體設(shè)備 FR-Mic 系列 |
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POLOS 光譜測(cè)量?jī)x器用于半導(dǎo)體設(shè)備 FR-Mic 系列
POLOS 系列
工作原理:
品牌POLOS 系列
FR-Mic 是用于快速&準(zhǔn)確的涂層表征應(yīng)用的模塊化光學(xué)柱,這些應(yīng)用需要小至幾微米的光斑尺寸,典型的例子包括(但不限于):微圖案表面,粗糙表面和許多其他。它可以與專(zhuān)用的計(jì)算機(jī)控制的XY舞臺(tái)結(jié)合使用,從而可以快速、輕松且準(zhǔn)確地自動(dòng)映射樣品的厚度和光學(xué)屬性。
FR-pRo 由用戶選擇的模塊組裝而成。核心單元可容納光源、光譜儀(適用于200 nm - 2500 nm范圍內(nèi)的任何光譜范圍)以及控制和通信電子設(shè)備。然后,有各種各樣的配件,例如:
POLOS 光譜測(cè)量?jī)x器用于半導(dǎo)體設(shè)備 FR-Mic 系列 |
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