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【氣浮盤,chuck卡盤,CMP鋁材研磨盤HALAR,PFA涂層加工】
【氣浮盤,chuck卡盤,CMP鋁材研磨盤HALAR,PFA涂層加工】 價格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海
最少起訂量:1 發(fā)貨地:浦東新區(qū)
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經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:私營有限責(zé)任公司
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詳細介紹


   可研磨的PTFE/PFA半導(dǎo)體涂層是一種高性能復(fù)合涂層,結(jié)合了PTFE(聚四氟乙烯)和PFA(全氟烷氧基化合物)的優(yōu)點。這種涂層不僅具有傳統(tǒng)PTFE和PFA涂層的低摩擦、不粘性和耐化學(xué)性,還具備在需要時可以通過研磨達到精確形狀和表面光潔度的特性。以下是對可研磨的PTFE/PFA半導(dǎo)體涂層的介紹及其在特定設(shè)備和部件中的應(yīng)用。
 可研磨的PTFE/PFA涂層介紹
1. 材料特性
   可研磨的PTFE/PFA涂層由PTFE和PFA復(fù)合而成,具有低摩擦系數(shù)、優(yōu)異的不粘性和高耐化學(xué)性。這種復(fù)合涂層可以在涂覆后通過研磨處理,達到所需的表面光潔度和精確尺寸。
2. 涂層工藝
   涂層通常通過噴涂、電泳或浸涂等方法進行涂覆,之后在高溫下固化。固化后的涂層可以通過機械研磨或拋光處理,確保其表面光滑且符合高精度要求。
3. 耐高溫性能
   PTFE/PFA涂層在高溫環(huán)境下保持穩(wěn)定,能夠承受半導(dǎo)體制造過程中常見的高溫工藝步驟而不發(fā)生降解。
 應(yīng)用設(shè)備及其部件
4.CMP(化學(xué)機械平坦化)設(shè)備
   CMP設(shè)備用于半導(dǎo)體晶圓的平坦化工藝,要求設(shè)備部件具有極高的表面光潔度和耐磨性?裳心サ腜TFE/PFA涂層可用于CMP設(shè)備中的拋光墊、拋光頭和支撐環(huán)等部件。這些部件需要耐化學(xué)腐蝕、低摩擦和高耐磨性,以確保在長時間運行中保持穩(wěn)定和高效。
5. 閥門和密封件
   半導(dǎo)體制造過程涉及多種腐蝕性化學(xué)品,閥門和密封件需要高耐化學(xué)性和低摩擦特性。可研磨的PTFE/PFA涂層可應(yīng)用于各種閥門、密封圈和墊片,提供優(yōu)異的密封性能和耐久性,防止泄漏和磨損,確保設(shè)備長期穩(wěn)定運行。
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涂層參數(shù)
厚度:100-300um
顏色:灰,黑,白
附著力:>8Mpa
涂層硬度:3H

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