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RBZK-300XY-150Z三軸中空精密運動臺
RBZK-300XY-150Z三軸中空精密運動臺 價格:  元(人民幣) 產地:北京
最少起訂量:1 發(fā)貨地:北京順義區(qū)
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北京瑞邦精控科技有限公司  
經(jīng)營模式: 公司類型:
所屬行業(yè):電子產品制造設備 主要客戶:高校,企業(yè),科研單位
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聯(lián)系人:劉中偉 (先生) 手機:15910681608
電話: 傳真:
郵箱:15910681608@163.com 地址:

詳細介紹

產品特點

XYZ行程300mm*300mm*150mm

三軸大中空結構

雙直驅線軌結構

龍門交叉解耦控制算法

定位精度±0.6μm

全行程直線度±0.9μm

優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)

結構、行程可定制


應用領域

RBZK-300XY-150Z三軸中空精密運動臺用于光學檢測。


產品簡介

三軸中空精密運動平臺采用雙直線電機驅動,精密滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋,行程300mm*300mm*150mm,三軸均為雙驅龍門結構,采用龍門交叉解耦算法,保證雙驅運動一致性,定位精度±0.6μm,中間帶大通孔應用于光學檢測領域。

大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好,應用于運動臺上質量可靠,品質有保障。大理石做模態(tài)分析,優(yōu)化結構尺寸,可依據(jù)客戶的要求做最終設計。


規(guī)格指標


軸系 Axis

測試項目 Test Items

單位 Units

指標 Specification

X 底軸

X Bottom AXIS

行程 Travel

mm

300

補償后定位精度 Accuracy

μm

±1

雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.5

直線度 Straightness

μm

±3.5

工作速度 Operating Speed

mm/s

200

加速度 Acceleration

m/s?

10

微動步距 Min Incremental Motion

nm

30

Y 上軸

Y Top AXIS

行程 Travel

mm

300

補償后定位精度 Accuracy

μm

±1

雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.5

直線度 Straightness

μm

±3.5

工作速度 Operating Speed

mm/s

200

加速度 Acceleration

m/s?

10

微動步距 Min Incremental Motion

nm

30

Z 軸

Z AXIS

行程 Travel

mm

150

補償后定位精度 Accuracy

μm

±1

雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability

μm

±0.5

工作速度 Operating Speed

mm/s

200

加速度 Acceleration

m/s?

10

XY

負載Load

kg

50

Z

負載Load

kg

70

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