| RBN-XY系列雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：北京 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：北京順義區(qū) | |
| 上架時(shí)間：2024-04-24 11:35:50 | 瀏覽量：146 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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| 經(jīng)營模式： | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：儀器儀表加工設(shè)備 | 主要客戶：高校，企業(yè)，科研單位 | |
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產(chǎn)品特點(diǎn) 緊湊式直驅(qū)結(jié)構(gòu) 重復(fù)定位精度±50nm 抗蠕動(dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌 直線度和平面度±0.5μm 微動(dòng)步距≤2nm 可定制高真空版本
應(yīng)用領(lǐng)域 RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺，具有納米級微動(dòng)步距，亞微米級重復(fù)定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測、測試測量、半導(dǎo)體、光纖對準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 三片式疊層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效地降低工作點(diǎn)的高度，減小阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響。直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，具有零齒槽、高動(dòng)態(tài)性能及電流噪聲小等特點(diǎn)。運(yùn)動(dòng)臺在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不會產(chǎn)生振動(dòng)？谷鋭(dòng)交叉滾柱直線導(dǎo)軌，滾柱間線線接觸，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。
精度性能 非接觸式光柵尺閉環(huán)反饋，通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控，獲得高精度指標(biāo)，定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度和平面度±0.5μm。
微動(dòng)步距 對有微動(dòng)步距要求的應(yīng)用領(lǐng)域，如最小步距運(yùn)動(dòng)、對準(zhǔn)應(yīng)用等，微動(dòng)步距≤2nm，對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求，更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。
定制化 可定制高真空環(huán)境下的版本，真空度10^-7Torr；定制最大加速度，多軸結(jié)構(gòu)等；根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運(yùn)動(dòng)控制方案。 規(guī)格指標(biāo)
注： 以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測量時(shí)溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，普通版振動(dòng)等級VC-E，測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。 1. 取決于平臺安裝表面的平面度。 2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。 3. 空載條件下的精度指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。 4. 無特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。振動(dòng)等級VC-G，微動(dòng)步距 <0.2nm。 |
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