| RBN-XY系列雙軸精密運動臺 |
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價格： 元(人民幣) | 產地：北京 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：北京順義區(qū) | |
| 上架時間：2024-04-24 11:35:50 | 瀏覽量：139 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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| 經營模式： | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：儀器儀表加工設備 | 主要客戶：高校，企業(yè)，科研單位 | |
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產品特點 緊湊式直驅結構 重復定位精度±50nm 抗蠕動交叉滾柱導軌 直線度和平面度±0.5μm 微動步距≤2nm 可定制高真空版本
應用領域 RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運動臺，具有納米級微動步距，亞微米級重復定位精度，高動態(tài)性能，結構緊湊，用于飛秒激光加工、光學制造及檢測、測試測量、半導體、光纖對準和科研等領域。
結構特點 三片式疊層結構設計，有效地降低工作點的高度，減小阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響。直線電機驅動，具有零齒槽、高動態(tài)性能及電流噪聲小等特點。運動臺在低速運動時保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不會產生振動？谷鋭咏徊鏉L柱直線導軌，滾柱間線線接觸，運動平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。
精度性能 非接觸式光柵尺閉環(huán)反饋，通過結構設計、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控，獲得高精度指標，定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度和平面度±0.5μm。
微動步距 對有微動步距要求的應用領域，如最小步距運動、對準應用等，微動步距≤2nm，對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求，更多細節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。
定制化 可定制高真空環(huán)境下的版本，真空度10^-7Torr；定制最大加速度，多軸結構等；根據(jù)應用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運動控制方案。 規(guī)格指標
注： 以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優(yōu)于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，普通版振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。 1. 取決于平臺安裝表面的平面度。 2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。 3. 空載條件下的精度指標，最大速度和加速度取決于負載大小。 4. 無特殊項目要求，出廠默認為準。振動等級VC-G，微動步距 <0.2nm。 |
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