| QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：北京 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：北京順義區(qū) | |
| 上架時間：2024-04-23 15:12:29 | 瀏覽量：187 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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產(chǎn)品特點 開式氣浮疊層結(jié)構(gòu) 結(jié)構(gòu)緊湊、精度高 重復(fù)定位精度±50nm 直線度±0.1μm，平面度±0.15μm 根據(jù)需求可定制 高柔線纜管理
應(yīng)用領(lǐng)域 QFL-XY系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)，由于非接觸式運動，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。
結(jié)構(gòu)特點 雙軸氣浮運動臺采用開式氣浮導(dǎo)軌，直線電機和光柵尺組成，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點低等特點，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，免維護運行，隨著時間推移，不會出現(xiàn)磨損或性能下降。
精度性能 QFL-XY軸雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw±0.5arc sec，以上為全行程精度指標，由于非接觸式運動結(jié)構(gòu)，氣浮運動臺的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，精度性能得到顯著提高。
線纜管理 使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統(tǒng)抗干擾能力。
定制化 根據(jù)應(yīng)用，結(jié)構(gòu)可定制化設(shè)計，如增加平升或楔形Z軸，轉(zhuǎn)臺等？膳渲么罄硎⒘⒅皺M梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上？蛇x配主動隔振系統(tǒng)，適合高抖動的應(yīng)用領(lǐng)域。 規(guī)格指標
注： 以上為單軸精度指標，在潔凈恒溫間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm高度處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。 1. 取決于平臺安裝表面的平面度。 2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。 3. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載。 4. 為保護氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。 5. 無特殊項目要求，出廠默認為準。 |
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