| QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：北京 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：北京順義區(qū) | |
| 上架時(shí)間：2024-04-22 11:27:53 | 瀏覽量：104 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式： | 公司類(lèi)型： | |
| 所屬行業(yè)：工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備 | 主要客戶(hù)：高校，企業(yè)，科研單位 | |
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產(chǎn)品特點(diǎn) 閉式氣浮結(jié)構(gòu) 直驅(qū)零齒槽效應(yīng) 定位精度±0.5arc sec 同步跳動(dòng)誤差10nm 精準(zhǔn)回零誤差 高速度穩(wěn)定性 最大承載 1T 解決氣浮軸抱死問(wèn)題
應(yīng)用領(lǐng)域 QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)輕量化設(shè)計(jì)、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)同步跳動(dòng)。產(chǎn)品設(shè)計(jì)滿(mǎn)足晶圓加工及檢測(cè)、輪廓測(cè)量、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和MEMS/納米技術(shù)設(shè)備等高端行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 由無(wú)齒槽直驅(qū)力矩電機(jī)、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使工作臺(tái)面降低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮軸抱死的問(wèn)題，力矩電機(jī)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動(dòng)。
精度性能 瑞邦精控的QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)同步軸向跳動(dòng)誤差和徑向跳動(dòng)誤差10nm，擺角誤差3μrad，最大負(fù)載1T，電動(dòng)控制和手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)跳動(dòng)誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環(huán)反饋 使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時(shí)采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)能精準(zhǔn)回零。
定制化 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用
規(guī)格指標(biāo)
注： 以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面上25mm處，測(cè)試速度10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測(cè)量，精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如需非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢(xún)我們。 1. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細(xì)分倍數(shù)。 2. 空載條件下指標(biāo)，最大轉(zhuǎn)速取決于負(fù)載大小。 3. 為保護(hù)氣浮軸承建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。 4. 無(wú)特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。 |
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