| QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：北京 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：北京順義區(qū) | |
| 上架時間：2024-04-22 11:27:53 | 瀏覽量：109 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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| 經(jīng)營模式： | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：工業(yè)自動化設(shè)備 | 主要客戶：高校，企業(yè)，科研單位 | |
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產(chǎn)品特點 閉式氣浮結(jié)構(gòu) 直驅(qū)零齒槽效應(yīng) 定位精度±0.5arc sec 同步跳動誤差10nm 精準回零誤差 高速度穩(wěn)定性 最大承載 1T 解決氣浮軸抱死問題
應(yīng)用領(lǐng)域 QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺輕量化設(shè)計、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級同步跳動。產(chǎn)品設(shè)計滿足晶圓加工及檢測、輪廓測量、高精度計量、光學(xué)檢測和MEMS/納米技術(shù)設(shè)備等高端行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點 由無齒槽直驅(qū)力矩電機、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計使工作臺面降低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮軸抱死的問題，力矩電機固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動。
精度性能 瑞邦精控的QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm，擺角誤差3μrad，最大負載1T，電動控制和手動轉(zhuǎn)動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環(huán)反饋 使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮轉(zhuǎn)臺能精準回零。
定制化 氣浮轉(zhuǎn)臺可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用
規(guī)格指標
注： 以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在轉(zhuǎn)動臺面上25mm處，測試速度10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測量，精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如需非標準測試，請咨詢我們。 1. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細分倍數(shù)。 2. 空載條件下指標，最大轉(zhuǎn)速取決于負載大小。 3. 為保護氣浮軸承建議加裝壓力保護開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。 4. 無特殊項目要求，出廠默認為準。 |
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