| 二手日本光弛1550真空電鍍膜機(jī) 離子蒸發(fā)電鍍機(jī)轉(zhuǎn)讓包安裝調(diào)試保修 |
| 聯(lián)系人:楊肖梅 (小姐) | 手機(jī):13723521401 |
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設(shè)備尺寸: 設(shè)備名稱(chēng) OTFC-1550CBI/DBI 真空室 SUS304, φ1550mm×1800mm (H) 工件架 φ1400mm 工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變) 光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀 波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm 反射式/透射式 水晶式膜厚計(jì) XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器 蒸發(fā)源 電子槍2套 離子源 17cmRF離子源 機(jī)械性能: 排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵+2個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold(或2個(gè)冷凝泵) 達(dá)到壓力 7.0×10-5 Pa 以下 排氣時(shí)間 15分(大氣壓~1.3×10-3 Pa) 基板溫度 :350℃ 工作條件: 設(shè)備尺寸 約5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H) 電源 3相,200v,50/60Hz, 約120KVA 水流量 180升/分以上 空氣壓力 0.5MPa以上 重量 約10000kg 適用于L ED用光學(xué)薄膜、ITO膜、 反射防止膜、超多層薄膜等各種光學(xué)薄膜形成裝置
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