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性能

• 可用量程：0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MC系列）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 無需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

• 兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）