| 寶雞鈦靶材廠家供應(yīng)各類(lèi)鈦靶材各規(guī)格全牌號(hào)可定制 |
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價(jià)格：100 元(人民幣) | 產(chǎn)地：陜西寶雞市 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：陜西寶雞市 | |
| 上架時(shí)間：2022-02-21 16:05:27 | 瀏覽量：726 | |
寶雞鈦盛隆鈦業(yè)有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工 | 公司類(lèi)型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：有色金屬 | 主要客戶：工業(yè) | |
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| 聯(lián)系人:李亞峰 (先生) | 手機(jī):18391758004 |
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| 郵箱:63548936@qq.com | 地址:寶雞市高新開(kāi)發(fā)區(qū)馬營(yíng)鎮(zhèn)郭家村三組10號(hào) |
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鈦靶，鈦濺射靶；應(yīng)用于裝飾和功能 鍍膜工業(yè)、平面顯示工業(yè)、光數(shù)據(jù)存儲(chǔ)工業(yè) （光盤(pán)工業(yè)）光通訊工業(yè)、玻璃鍍膜（建筑 玻璃和汽車(chē)玻璃）工業(yè)等行業(yè).純度是靶材的主要性能指標(biāo)之，因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。靶材的主要性能要求:純度純度是靶材的主要性能指標(biāo)之，因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很 純度 純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。不過(guò)在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6", 8"發(fā)展到12", 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對(duì)靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。 雜質(zhì)含量 靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對(duì)不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如，半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對(duì)堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。 密度 為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。 晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材為多晶結(jié)構(gòu)，晶粒大小可由微米到毫米量級(jí)。對(duì)于同一種靶材，晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。 |
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