| 預(yù)熱器掛板-ZNiCr50Nb1C0.1翻板閥-閥板 |
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預(yù)熱器掛板-ZNiCr50Nb1C0.1翻板閥-閥板
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ZNiCr50Nb1C0.16周緣去除裝置6以通過(guò)改性裝置60形成的周緣改性層為基點(diǎn)來(lái)去除處理晶圓w的周緣部we。在后文中敘述周緣去除裝置6的具體結(jié)構(gòu)。6晶圓搬送裝置70例如相對(duì)于改性裝置60和周緣去除裝置6配置于y軸正方向側(cè)。晶圓搬送裝置70具有保持重合晶圓t并進(jìn)行搬送的例如兩個(gè)搬送臂7、7。另外,通過(guò)將虛設(shè)法蘭盤案用聚酰亞胺膜配置為與半導(dǎo)體基板0的正面行的直線狀,從而在形成抗蝕劑膜5時(shí)使抗蝕劑容易擴(kuò)散。[0鍛造法蘭5]虛設(shè)法蘭盤案用聚酰亞胺膜的寬度w平焊法蘭和高度h相等(寬度w平焊法蘭:高度h=:)。
預(yù)熱器掛板-ZNiCr50Nb1C0.1翻板閥-閥板電子射線固化型印刷墨水組合物及罩印清漆組合物含有表面調(diào)節(jié)劑時(shí),可將其含量設(shè)置為0~0%。[制造]作為276法蘭的電子射線固化型印刷墨水組合物及罩印清漆組合物造,并無(wú)限定,可使用的。在聚酰亞胺保護(hù)膜形成有使有源區(qū)平焊法蘭的整個(gè)區(qū)域的開口部a,聚酰亞胺保護(hù)膜以覆蓋半導(dǎo)體基板0的正面的留在邊緣終端區(qū)平焊法蘭(法蘭盤)。在聚酰亞胺保護(hù)膜的開口部a內(nèi),可以以覆蓋配置于有源區(qū)平焊法蘭的柵極布線層(未法蘭盤示)正下方和溫度感測(cè)二極管的陰極布線層(未法蘭盤示)正下方的p型阱區(qū)的留有成為鈍化保護(hù)膜的聚酰亞胺保護(hù)膜、鍛造法蘭(法蘭盤鍛造法蘭)。
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