| 半導(dǎo)體千級無塵凈化車間設(shè)計施工 |
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半導(dǎo)體生產(chǎn)無塵車間設(shè)計施工/半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室建設(shè)/半導(dǎo)體百級凈化施工/半導(dǎo)體千級凈化施工/半導(dǎo)體萬級凈化車間設(shè)計施工 中山市美藍潔凈科技生產(chǎn)的的空氣凈化產(chǎn)品及設(shè)備主要有:風(fēng)淋室,貨淋室,初效過濾器,中效過濾器,高效過濾器、超凈工作臺,潔凈工作臺,傳遞窗,風(fēng)淋室配件,風(fēng)淋室控制器,化學(xué)過濾器,FFU風(fēng)機過濾單元,空氣自凈器,潔凈棚,新風(fēng)柜,過濾柜,通風(fēng)柜,洗手池,潔凈采樣車,高風(fēng)效送口等等潔凈室及配套用凈化產(chǎn)品等。無塵車間凈化設(shè)備廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、生物制藥、食品加工、核工業(yè)、汽車制造業(yè),空調(diào)暖通業(yè)行業(yè)和領(lǐng)域等。 半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括:裝修方案(圍護、地面防水保溫處理),暖通方案(空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等),特氣供應(yīng)方案(特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理),壓縮空氣方案,廢氣處理方案(儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理),電氣方案(空調(diào)設(shè)備動力配電等),弱電工程,集成控制智能平臺,純水方案(冷卻水、去離子水、超純水、水管等),廢水處理。
一、結(jié)構(gòu)圍護工程 墻板及吊頂:本工程隔墻采用企口型機制玻鎂巖棉夾芯板0.426,玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠房二級消防要求,玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能,耐火等級達到A級。巖棉密度:≥1000kg/m?;導(dǎo)熱系數(shù):≤0.046w/m.k;燃燒性能:A級(不燃)。耐火極限為30~120分鐘。廣泛應(yīng)用于食品、電子、醫(yī)yao、飲料、生物研究等行業(yè)。 地板:車間內(nèi)采用防靜電型PVC地板,其中千級和百級車間采用防靜電型架高鋼板,其它為普通型PVC地板。PVC地板是當今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料,也稱為“輕體地材”使用非常廣泛,比如家庭、醫(yī)院、學(xué)校、辦公樓、工廠、公共場所、超市、商業(yè)等各種場所。 二、暖通工程 設(shè)備:空調(diào)制冷負荷:經(jīng)統(tǒng)計計算,總冷負荷約500KW。采用恒溫恒濕潔凈空調(diào),夏季采用磁懸浮水冷機組,冬季采用廠區(qū)鍋爐熱水供熱。 風(fēng)管:風(fēng)管采用共板法蘭風(fēng)管。 水管:空調(diào)水管采用無縫鋼管。水泵采用星-三角降壓啟動。 三、特種氣體工程 工藝氣體種類多,純度高,并且易燃易爆有毒。安全問題突出,為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠,建議采用進口成熟產(chǎn)品。 因為 MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì),并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料,因此在MOCVD 系統(tǒng)的設(shè)計思想上,通常要考慮系統(tǒng)密封性要好,流量、溫度控制要精確,組分變換要迅速,系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。 四、空壓氣體工程 螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成:空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。 五、廢氣工程 由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。 生產(chǎn)廢氣排放源及組成表 廢氣來源組成外延工序SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2清洗工序H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH 等光刻工序異丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S 等化學(xué)機械拋光NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH、有機酸鹽化學(xué)氣相沉淀SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、SiF4、CF4、B2H6、PH3、NF3、HCl、HF、NH3擴散、離子注入BF3、AsH3、PH3、H2、SiH4、SiH2Cl2、BBr3、BCl3、B2H6金屬化工序SiH4、BCl3、AlCl3、TiCl4、WF6、TiF4、SiF4、AlF3、BF3、SF6等 對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。 對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。因為半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11039 m3/小時)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點,使用其它的處理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。 以上即是美藍潔凈科技關(guān)于半導(dǎo)體凈化車間的設(shè)計方案部分工程分享,希望今天的分享對您有所幫助。在下一次的分享里,美藍潔凈科技將為您詳解電氣工程、弱電系統(tǒng)工程、智能平臺、純水工程及廢水處理工程。
一、中山美藍潔凈科技 產(chǎn)品種類 售后說明 中山市美藍潔凈科技有限公司是專業(yè)從事潔凈技術(shù)研究、凈化工程的設(shè)計、無塵車間施工、潔凈廠房建造的高技術(shù)企業(yè)。公司擁有十五年空氣凈化的專業(yè)經(jīng)驗,建造的凈化工程主要應(yīng)用于飲料食品、電子器械、生物制藥、航天航空、精密儀表、化妝品行業(yè)、科研教學(xué)等領(lǐng)域。 我們的服務(wù)流程: 1、結(jié)合國內(nèi)外實驗室、無菌室、潔凈室、凈化車間的歷史、現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢,專業(yè)化的設(shè)計理念; 2、各類實驗室、潔凈室、無塵室(恒溫恒濕和生物安全)相關(guān)環(huán)境評估分析; 初步設(shè)計: 1、勘察現(xiàn)場、了解現(xiàn)場環(huán)境特點; 2、領(lǐng)悟客戶的想法與要求,消化并加以分析; 3、有針對性地收集相關(guān)資料:包括相應(yīng)的儀器設(shè)備、實驗室操作流程等; 4、確定設(shè)計風(fēng)格,規(guī)劃整體平面布局,與客戶交流; 5、確定平面方案后進行整體的設(shè)計,彩色效果圖繪制、備注說明、文字方案、工程預(yù)算等。 施工方案: 1、確定整體設(shè)計方案; 2、對現(xiàn)場細部考察,了解客戶對材料品牌或其他方面的特殊要求; 3、深化圖紙:包括設(shè)計說明、文字方案、工程預(yù)算、平面圖、立面圖、部面圖、色彩效果圖、關(guān)鍵部位大樣圖、給排水、電氣、暖通等體與細節(jié)等達到按圖施工的標準; 4、確定方案后,輸出全套施工圖紙。 項目實施: 1、施工方案確認交底,組建項目部,進行施工前人、財、物的各項準備工作; 2、嚴格根據(jù)施工工藝、施工進度計劃施工,確保施工質(zhì)量及進度,隱蔽工程要監(jiān)理方驗收合格后,進入下一道工序施工。 3、加強客戶溝通,對項目變及時調(diào)整; 4、及時上報竣工資料,做好工程交接工作。 中山市美藍潔凈科技有限公司:承接:10-300000級凈化工程裝修與設(shè)計,層流手術(shù)室,負壓病房,GMP凈化工程、化妝品廠凈化工程、 QS食品廠凈化工程、電子廠凈化工程、 美藍潔凈科技主要生產(chǎn)凈化設(shè)備:風(fēng)淋室、貨淋室、過濾器、傳遞窗、高效送風(fēng)口、潔凈工作臺、生物安全柜、自凈器、新風(fēng)柜、層流罩、實驗室家具、FFU過濾單元等
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