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超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯2惡ying等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水�？梢杂糜诔儾牧希ò雽�(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過程。
超純水是為了研制超純材料（半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，其電阻率大于18 MΩ*cm，或接近18.3 MΩ*cm極限值（25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水  。這樣的水是一般工藝很難達(dá)到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進(jìn)行處理，但是交換樹脂的再生不便，質(zhì)量難以保證。
在原子光譜、液相色譜、超純物質(zhì)分析、痕量物質(zhì)等的某些實驗中，需要用超純水，超純水的制備如下 ：
（1）加入少量G錳酸J的水源，用玻璃蒸餾裝置進(jìn)行二次蒸餾，再以全石英蒸餾器進(jìn)行蒸餾，收集于石英容器中，可得超純水。
（2）使用強(qiáng)酸型陽離子和強(qiáng)堿型陰離子交換樹脂柱的混合床或串聯(lián)柱�？沙浞殖ニ械年�、陰離子，其電阻率達(dá)10 Q·cm的水，俗稱去離子水，再用全石英蒸餾器進(jìn)行蒸餾，收集可得超純水。
超純水可以在以下領(lǐng)域使用 ：
（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
（2）化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
（3）單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
（4）高壓變電器的清洗等