| 英思特濕法自動/半自動 石英爐管 石英舟 清洗機 全國上門服務 |
 |
價格：100000 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2020-06-16 15:01:40 | 瀏覽量：717 | |
江蘇英思特半導體科技有限公司
 |
||
| 經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業(yè)：洗滌設備 | 主要客戶：半導體 | |
 在線咨詢  |
||
| 聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (先生) | 手機:18012437416 |
電話: |
傳真: |
| 郵箱:1819855657@qq.com | 地址: |
|
1.1 設備概況： 1.1.1 主要功能：設備主要采用人工上下料、機械手自動實現(xiàn)槽體之間轉移方式，對2--12英寸石英爐管或其他石英配件進行酸液浸泡、水槽噴洗、水槽溢流漂洗、水槽氮氣鼓泡等方式進行處理，從而達到一個優(yōu)異的清洗效果； 1.1.2 被清洗爐管尺寸（Max）：2--12英寸的石英爐管，； 1.1.3 設備形式：無塵室（class 1000級 fab）內放置型； 1.1.4 清洗時間：0~999MIN（可根據(jù)實際工藝時間而定）； 1.1.5 操作形式：觸摸屏 自動/手動操作； 1.2 設備組成 1.2.1 該設備主要由殼體部分、槽體部分、管路系統(tǒng)、機械臂機構、排風系統(tǒng)、電控部分及防漏液盤組成； 1.3 設備描述 1.3.1 該設備是一個全自動（清洗）的處理設備； 1.3.2 觸摸屏（PROFACE、OMRON）顯示 / 檢測 / 操作； 1.3.3 清洗工作過程由歐姆龍或三菱PLC 控制； 1.4 設備特性 1.4.1 需要漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠; 1.4.2 需要設備成本合理,自動化程度高,使用成本低; 1.4.3 設備上層為電器控制系統(tǒng)、機械臂機構及抽風系統(tǒng)，中層為工作區(qū)，下層和后下部為管道安裝維修區(qū)； 1.4.4 設備結構設計必須合理，方便工程師維護、維修，適宜生產(chǎn)線上大批次操作； 1.4.5 機臺要求有回收水裝置，在排水管路上安裝一個三通裝置，并在程式中選擇排水路徑，將水排入純回水管路或者DHF管路； 1.4.6 配備一個可移動的清洗架，主要用于清洗小件Quartz和boat； 1.4.7 在水槽左右側壁處需要開溢流口（開關狀態(tài)可受控制）； 1.4.8 在整臺設備的底部裝有防漏液盤； 1.4.9 臺面網(wǎng)孔設計； 1.4.10 水平調整：通過地腳調整設備水平； 1.4.11 設備移動：設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用； 1.4.12 上料平臺操作面高度：950mm； 1.4.13 操作面門設計：單開門透明的PVC活動門（上下推拉+配重）； 1.4.14 對水槽和酸槽清洗操作流程可自由編寫程式，并自動運行； 1.4.15 在水槽兩頭需要安裝水管和氣管各一支； 1.4.16 設計內外槽：內槽為酸槽，外槽為水槽；（內外槽，分別有溢流功能） 1.4.17 使用酸液為：49%HF與DIW配比后的HF 1.4.18 各槽材質：酸槽為PVDF（耐化學腐蝕），水槽為NPP（耐腐蝕）； 1.4.19 防漏槽材質為：PP； 1.4.20 機械手臂需要能夠上下左右移動（上升時需要有略傾斜功能----左右落差3cm， 將酸液倒出）； 1.4.21 機械手臂需要采用伺服電機控制； 1.4.22 使用的DI WATER和酸液（HF49%）都是由廠務系統(tǒng)提供； 1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存檔和查看； 1.4.24 自動清洗流程 人工上料→選擇好相應的清洗時間→按AUTO（RUN，door open interlock）鍵→系統(tǒng)自動移動到酸槽進行酸洗（右邊比左邊低3CM下行）→等泡酸時間結束系統(tǒng)自動將Quartz提起（右邊比左邊低3CM上行）→系統(tǒng)自動移動到水槽進行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有動作完成后蜂鳴器提示（1分鐘）→人工下料； |
| 版權聲明：以上所展示的信息由會員自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布會員負責。機電之家對此不承擔任何責任。 友情提醒：為規(guī)避購買風險，建議您在購買相關產(chǎn)品前務必確認供應商資質及產(chǎn)品質量。 |
機電之家網(wǎng) - 機電行業(yè)權威網(wǎng)絡宣傳媒體
關于我們 | 聯(lián)系我們 | 廣告合作 | 付款方式 | 使用幫助 | 會員助手 | 免費鏈接Copyright 2026 jdzj.com All Rights Reserved??技術支持：機電之家 服務熱線：0571-87774297
網(wǎng)站經(jīng)營許可證:浙B2-20080178
