| UP-230 不銹鋼腔體式薄膜制備裝置 |
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價(jià)格：500000 元(人民幣) | 產(chǎn)地：深圳 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：深圳 | |
| 上架時(shí)間：2017-06-21 15:43:25 | 瀏覽量：1105 | |
深圳優(yōu)普萊等離子體技術(shù)有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：其他有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：其他洗滌機(jī)械 | 主要客戶：科研，院校 | |
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適合的應(yīng)用： ◆ 化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶金剛石（基臺(tái)直徑5厘米）; ◆ 化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜。 產(chǎn)品特點(diǎn)： ◆ 本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式5kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高； ◆ 水冷式基片臺(tái)和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作； ◆ 基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到； ◆ 真空測(cè)量?jī)x表采用全量程真空計(jì)，可精確測(cè)量本底真空和工作氣體壓強(qiáng)； ◆ 真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1x10-5Pa)和旋片式機(jī)械真空泵(極限真空為6x10-2Pa)，裝置可調(diào)節(jié)高真空隔膜閥和并聯(lián)高真空微調(diào)閥控制沉積氣壓； ◆ 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，無(wú)水源要求，確保裝置高功率下可長(zhǎng)時(shí)間安全穩(wěn)定運(yùn)行； ◆ PLC自動(dòng)控制和手動(dòng)操作兩種操作模式，工藝流程可重復(fù)； ◆ 可配置沉積氣壓自動(dòng)控制模塊與全自動(dòng)工藝控制模塊，以便于穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)金剛石薄膜和晶體。 |
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