| 邁可諾膜厚儀便攜式光學(xué)膜厚測(cè)量FR-pOrtable測(cè)厚儀 |
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FR-pOrtable是白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng),通過(guò)內(nèi)嵌式微處理器控制,使用壽命超過(guò)20000小時(shí)。小型光譜儀,光譜范圍370nm –1020nm,分辨精度可達(dá)3648像素,16位級(jí)A/D分辨精度;配有USB通訊接口;可對(duì)透明和半透明的單個(gè)薄膜或薄膜疊層進(jìn)行精確,精確的 無(wú)損表征。FR-pOrtable的緊湊設(shè)計(jì)保證了測(cè)量的高度準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。FR-pOrtable既可以安裝在提供的平臺(tái)上,也可以輕松轉(zhuǎn)換為手持式厚度測(cè)量工具,以放置在表征區(qū)域上。這樣,F(xiàn)R-pOrtable是用于現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用的唯一光學(xué)表征工具。可以測(cè)量反射率,透射率,吸收率和顏色參數(shù)。 ? FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng),可精確計(jì)算如下參數(shù): 1)單一或堆積膜層的厚度; 2)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù),可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測(cè)量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權(quán),即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用。 ? 參考樣片: 1)經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片; 2)經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片; 3)經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片; 4)反射探針臺(tái)和樣片夾具: 可處理最大的樣品尺寸達(dá)200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等; 手動(dòng)調(diào)節(jié)可測(cè)量高度可達(dá)50mm; 可針對(duì)更大尺寸訂制樣片夾具; ? 反射率測(cè)量的光學(xué)探針: 內(nèi)嵌系統(tǒng)6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm; ? 附件: FR-portable透射率測(cè)量套件; ? 技術(shù)參數(shù):
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