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　　工廠轉(zhuǎn)讓仕研 品牌 20B雙面拋光機(jī) 研磨機(jī)

　　產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：

　　1、變頻器配合變頻電機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊��；

　　2、采用雙電機(jī)拖動(dòng)，上、下研磨盤及內(nèi)齒圈由一個(gè)主電機(jī)驅(qū)動(dòng)，變頻調(diào)速。太陽輪由一個(gè)副電機(jī)變頻調(diào)速拖動(dòng)，變速范圍更廣，可以對(duì)工作速比進(jìn)行即時(shí)控制，能適應(yīng)不同研磨工藝的要求；

　　3、太陽輪與內(nèi)齒圈同步抬升，滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求；

　　4、上下研磨盤采用斜齒輪傳動(dòng)，提高了運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)性；

　　5、采用PLC控制，壓力采用電——?dú)獗壤y閉環(huán)反饋控制，壓力等級(jí)設(shè)定更方便，操作簡(jiǎn)單易行，工作可靠穩(wěn)定；

　　6、本機(jī)應(yīng)用人機(jī)界面（PT）顯示與PLC控制，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面通過其觸摸健調(diào)整設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù)，主操作由普通健鈕完成；

　　7、造型及內(nèi)部結(jié)構(gòu)充分考慮了操作和維修的方便性。

　　8.雙面研磨機(jī)/雙面拋光機(jī)適用范圍

　　藍(lán)寶石基片、光學(xué)光電子材料、觸屏玻璃、蓋板玻璃、硅片、陶瓷片等非金屬的雙面研磨拋光.不銹鋼.鋁合金，鉬片等金屬材質(zhì)雙面研磨拋光。

　　技術(shù)參數(shù)：

　　1. 研磨盤規(guī)格：φ1136×φ354×50mm

　　2. 研磨直徑：φ350mm

　　3. 游輪參數(shù)：英制DP12 Z=200

　　4. 最小研磨厚度：0.3mm

　　5. 研磨厚度：30mm

　　6. 主電機(jī)：11kw

　　7. 太陽輪拖動(dòng)電機(jī)：1.5kw

　　8. 下研磨盤轉(zhuǎn)速： 0-50rpm

　　9. 抬升電機(jī)：0.75kw

　　10. 砂泵電機(jī)：0.37kw

　　11.氣源：0.6-0.7Mpa

　　12. 外形尺寸：2400×1500×2700mm

　　13.質(zhì)量：約4500kg

　　加工能力:

　　1、單片承片量：17片/φ75mm 8片/φ100mm 5片/φ125mm

　　2、游星片數(shù)量：5個(gè)V

　　拋光機(jī)的工作原理是：拋光臺(tái)上表面裝有拋光墊并旋轉(zhuǎn)，硅片夾持在拋光頭承載器中碎拋光頭承載器的運(yùn)動(dòng)壓緊到拋光墊上并旋轉(zhuǎn)和擺動(dòng)。同時(shí)向拋光墊與硅片接觸的區(qū)域澆注拋光液，拋光液中的化學(xué)溶液將硅片表面層腐蝕成松軟的物質(zhì)，同時(shí)拋光液中的氧化鋁等磨料作為研磨劑，利用拋光墊與硅片之間摩擦作用去除硅片表面的腐蝕層，這樣在不斷的化學(xué)腐蝕和機(jī)械去除的綜合作用下，不斷將硅片表面的細(xì)微去除，從而達(dá)到拋光效果：

　　拋光墊修整器是安裝有毛刷或端面金剛石磨輪的機(jī)構(gòu)，通過旋轉(zhuǎn)、向下加壓并擺動(dòng)，來清理拋光墊表面沉積物或修整拋光墊表面，以維持拋光墊的去除率，在專欄文章《六維度拆解安集科技：拋光液打破美日壟斷，攜手鼎龍股份自主可控》一文中筆者對(duì)拋光液、拋光墊及拋光墊修整器及行業(yè)規(guī)模、競(jìng)爭(zhēng)格局等做了相應(yīng)的介紹。

　　在實(shí)際工作中拋光機(jī)有多片單面拋光機(jī)和多片雙面拋光機(jī)兩種。由于化學(xué)機(jī)械拋光工藝加工效率較低、加工成本較高，在實(shí)際作業(yè)中通常直徑小于200mm的硅片通常是在研磨片的基礎(chǔ)上對(duì)硅片一面進(jìn)行拋光，在制造工藝上一般采用多片單面拋光機(jī)加工，即在一個(gè)拋光臺(tái)上采用多拋光頭同時(shí)拋光，以提高拋光效率、降低拋光成本：

　　200/300mm的硅片采用多片雙面拋光工藝，雙面拋光機(jī)是在雙面研磨劑的基礎(chǔ)上，在上、下拋光盤上裝有拋光墊，增加拋光液供給/回收裝置，可同時(shí)進(jìn)行多片拋光：

　　值得注意的是由于后道工藝對(duì)300mm硅片加工后的面型精度要求增高，設(shè)備體積增大，所以設(shè)備制造精度和控制精度相對(duì)更高。為了減小硅片裝載、卸載時(shí)操作中容易碎片的風(fēng)險(xiǎn)，一些300mm雙面拋光機(jī)還集成了硅片自動(dòng)裝載/卸載單元裝置: