| 供應(yīng)ESC氮化鋁靜電卡盤真空燒結(jié)VHSgr島津Shimadzu |
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價格:450.00 元(人民幣) | 產(chǎn)地:江蘇蘇州 |
| 最少起訂量:1 | 發(fā)貨地:江蘇蘇州 | |
| 上架時間:2025-10-25 10:33:44 | 瀏覽量:15 | |
蘇州倍爾齊科技有限公司
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| 經(jīng)營模式:代理商 | 公司類型:私營獨(dú)資企業(yè) | |
| 所屬行業(yè):電熱設(shè)備 | 主要客戶:高校,研究院所,高端制造企業(yè) | |
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| 聯(lián)系人:寧洪 (先生) | 手機(jī):15820412713 |
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Shimadzu島津ESC氮化鋁靜電卡盤氮真空燒結(jié)VHSgr主要用于PVD、CVD、ETCH等制程部門的半導(dǎo)體設(shè)備零部件固定晶圓的靜電卡盤上,適用于靜電卡盤或靜電吸盤的排膠和燒結(jié)工序,靜電吸盤--又稱靜電卡盤,是半導(dǎo)體工藝中的硅片夾持工具,被廣泛用于PVD、CVD、ETCH等制程部門。在一些制程的工藝過程中需要固定晶圓,并且維持晶圓背面壓力的恒定。 島津作為日本真空爐專業(yè)生產(chǎn)代表廠家,在硬質(zhì)合金,合金陶瓷,金屬注射成形的生產(chǎn)和研究開大部分的市場份額。經(jīng)過數(shù)十年培育出的技術(shù)和成熟的生產(chǎn)工藝,系列化生產(chǎn)的真空爐,可以為用戶提供高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)。在中國,韓國等海外市場,也已擁有眾多的銷售業(yè)績,并得到客戶的青睞。? Shimadzu島津ESC氮化鋁靜電卡盤氮真空燒結(jié)VHSgr在氮化鋁陶瓷基板燒結(jié)過程中,除了工藝和氣氛影響著產(chǎn)品的性能外,燒結(jié)助劑的選擇也尤為重要。在常壓下進(jìn)行燒結(jié),添加適宜的燒結(jié)助劑不僅能夠大大降低能耗,還能夠制備出高性能的AlN陶瓷。研究表明,通過添加一些低熔點(diǎn)的燒結(jié)助劑,可以在氮化鋁燒結(jié)過程中產(chǎn)生液相,促進(jìn)氮化鋁坯體的致密燒結(jié)。 有效尺寸(mm):400*400*1500 處理量(KG):400 額定溫度(℃):2000 真空度(Pa):7x10~ 壓力:大氣壓 加熱電力(kw):230 使用氣體:N2,Ar 脫氣、脫脂、燒結(jié)一體化處理 Shimadzu島津ESC氮化鋁靜電卡盤氮真空燒結(jié)VHSgr爐內(nèi)裝有密封箱,使脫脂揮發(fā)的氣體不污染爐內(nèi)壁和隔熱材,全部排出到爐外。
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