| 產品參數 | | 品牌 | Aerotech | | 產品特性 | 氣浮平臺 | | 是否進口 | 否 | | 產地 | 美國 | | 加工定制 | 是 | | 產品認證 | CE | | 速度響應頻率 | 200KHz | | 適用電機 | Aerotech直線電機 | | 可售賣地 | 全國 | | 型號 | ABL1500 | | ????Aerotech?ABL系列氣浮軸承直驅直線運動平臺，擁有超 的定位功能，精度在0.2~0.5um之間。 設計特點 專為 掃描和檢查而設計 所有空氣軸承表面上的有效空氣預載 線性編碼器反饋提供亞納米分辨率 高剛性，可承受重載，并具有 幾何性能 行程達500毫米
前沿制造業(yè)，特別是在半導體和數據存儲行業(yè)中，要求的定位公差超出了傳統(tǒng)滾珠絲杠和機械軸承定位系統(tǒng)的能力。ABL1500空氣軸承臺具有完全主動的預緊力，極高的剛度和 幾何特性， 為滿足這些需求而設計。 空氣軸承設計，實現高動態(tài)性能 ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負載分配到較大的表面積上之外，這種設計還可以使平臺具有 剛度，非常適合重載或偏載。 制造技術導致了具有無法超越的幾何特征的階段。空氣軸承具有固有的平均效應，可限度地提 薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規(guī)則性。此特性可產生 螺距，滾動，偏航，直線度和平坦度規(guī)格。 直線電機驅動 此階段的驅動力是Aerotech的BLMC系列無刷線性伺服電機。該設計體現了Aerotech作為電機制造商的悠久歷史和經驗。BLMC使用無鐵力，這意味著零齒槽效應和無吸引力，從而實現了 的運動平穩(wěn)性。BLMC能夠產生高的力和速度，代表了功率和性能的結合。 零維護 我們的完全非接觸式空氣軸承，非接觸式線性電動機驅動器和非接觸式反饋設備確保了Aerotech設備所期望的 水平下的多年免維護運行。由于運動元件之間沒有機械接觸，所以隨著時間的流逝，ABL1500不會遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是 的，并且由于沒有潤滑-只有清潔，干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫(yī)療應用的理想選擇。 電纜管理 我們精心優(yōu)化電纜彎曲半徑，以確保多年無故障運行。萬一發(fā)生故障，Aerotech的模塊化設計使電纜更換變得快速簡便，停機時間 少。我們將所有客戶要求的電纜，空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中，以便于集成到 終系統(tǒng)中。兩端完全連接，可輕松集成到客戶的機器中。 技術指標 機械規(guī)格 模型 | ABL1500-050 | ABL1500-100 | ABL1500-200 | 旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | 準確性（1） | E1 | 已校準 | ±0.3微米 | ±0.3微米 | ±0.5微米 | 標準 | ±2.0微米 | ±4.0微米 | ±8.0微米 | E3 | 已校準 | ±0.2微米 | ±0.2微米 | ±0.4微米 | 標準 | ±1.0微米 | ±2.0微米 | ±5.0微米 | 重復性 （雙向）（1） | E1 | ±0.1微米 | ±0.2微米 | E3 | ±0.05微米 | ±0.05微米 | ±0.1微米 | 直線度（1） | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | 平面度（1） | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | 瀝青 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | 滾 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | 偏航 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | 速度 | 2 m /秒 | 加速度 | 2克（空載） | 力（連續(xù)） | 93.6 N | 載重量（2） | 臥式 | 35公斤 | 側 | 25公斤 | 運營壓力 | 80 psi±5 psig | 耗氣量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴） | 移動質量（空載） | 5.1公斤 | 舞臺質量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | 材料 | 鋁 | MTBF（平均無故障時間） | 30,000小時 |
通過每個階段的認證。 列出了軸上加載的軸方向。 規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用，請咨詢工廠。 為了防止空氣軸承承受負壓，建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。 供氣必須清潔，干燥至0°F露點并過濾至0.25 μm或更高；建議使用純度為99.9％的氮氣。 對于XY配置，上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm，則需要ABL1500WB作為下軸。
模型 | ABL1500-300 | ABL1500-400 | ABL1500-500 | 旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | 準確性（1） | E1 | 已校準 | ±0.5微米 | ±0.6微米 | ±0.6微米 | 標準 | ±12.0微米 | ±16.0微米 | ±20.0微米 | E3 | 已校準 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ±0.5微米 | 標準 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | 重復性 （雙向）（1） | E1 | ±0.2微米 | ±0
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