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1.1概述

水蒸氣蒸發(fā)混合器是一種可以產(chǎn)生含水蒸汽混合氣體的裝置。它可以產(chǎn)生水蒸氣與另外一路氣體以任意比例混合的氣體，且該氣體的流量和溫度皆可連續(xù)調(diào)節(jié)。適用于CEM3002、CEM3020和CEM3080等型號。

1.2 工作原理

1.2.1主機(jī)部分
主機(jī)由1路氣體流量計量模塊、1路水蒸氣計量蒸發(fā)模塊、1個氣體預(yù)熱混合器和系統(tǒng)控制平臺組成。水通過計量泵精確計量流量后進(jìn)入蒸發(fā)器，并且得到完全蒸發(fā)。另外1路載氣經(jīng)過質(zhì)量流量計計量流量后，與水蒸氣在預(yù)熱混合器中進(jìn)行充分混合后輸出。通過調(diào)節(jié)載氣的流量和水泵的流量，可以調(diào)節(jié)混合氣體中水的含量以及氣體總流量。通過預(yù)熱混合器可以調(diào)節(jié)控制混合器輸出的問題。

1.2.2定制附件：主機(jī)與應(yīng)用設(shè)備伴熱連接
當(dāng)主機(jī)與應(yīng)用設(shè)備距離較遠(yuǎn)時，可以定制一套伴熱連接管路。它包含3個溫控：1個電伴熱管線溫控以及2個管接頭伴熱溫控。伴熱管線是一體成型的，而管接頭伴熱采用方便拆卸的加熱帶。

1.3 參數(shù)指標(biāo)

1.4 包裝清單

1.5 設(shè)備接口

前方視圖

背面視圖

2.安裝與操作
2.1 清點部件

請根據(jù)訂單清點，主要包括主機(jī)、電源線（CEM3020/CEM3002）等

2.2安裝電源

CEM3002/CEM3020電源線為16A的插頭，準(zhǔn)備一個與現(xiàn)場220V電源聯(lián)通的插座，將插頭插入插座內(nèi)。
CEM3080電源線為6mm2的三芯線纜（5.5kW），請在現(xiàn)場電工的幫助下進(jìn)行電源連接。

2.3 安裝水源

CEM3080：水桶是放置在主機(jī)外面的，將主機(jī)上的進(jìn)水管投入水桶中即可。
CEM3020：打開主機(jī)正面下部的門，可以將一個20L的水桶置于主機(jī)下部，將進(jìn)水管投入水桶中即可。
CEM3002: 打開主機(jī)正面下部的門，可以將一個≤20L的水桶或者試劑瓶置于主機(jī)下部，將進(jìn)水管投入水桶/瓶中即可。

2.4 安裝氣源

將外部氣源管插接到進(jìn)氣口的快插接頭中即可。

2.5 安裝主機(jī)與應(yīng)用設(shè)備之間的伴熱管

需要預(yù)約工程師現(xiàn)場確定伴熱管布置，測量所需長度后定制伴熱管，再到現(xiàn)場安裝。

注意
1.水源要采用去離子水
2. 不可用力拉扯進(jìn)水管！
3.管接頭伴熱測溫的熱電偶連接線需布置妥當(dāng)，放置使用中不小心扯松，導(dǎo)致測溫不正常燒壞伴熱帶

2.6 快速操作

2.6.1 打開設(shè)備電源
（1）在前面板上打開主控開關(guān)
（2）按下系統(tǒng)開關(guān)按鈕，啟動觸摸屏主頁面

2.6.2 預(yù)熱設(shè)備
（1）啟動蒸發(fā)器：在主頁面上點擊蒸發(fā)器“設(shè)置”按鈕，進(jìn)入蒸發(fā)器設(shè)置頁面；將SV設(shè)置為所需溫度。
SV的溫度越高蒸發(fā)器的蒸發(fā)能力越強(qiáng)。對于CEM3020和CEM3080，SV設(shè)置為220℃和180℃可以達(dá)到設(shè)計的最大蒸發(fā)能力。

（2）啟動伴熱器：在主頁面上點擊伴熱器的“設(shè)置”按鈕，進(jìn)入伴熱設(shè)置頁面。通常伴熱的溫度設(shè)置為120℃即可。如果主機(jī)和應(yīng)用設(shè)備之間沒有接附件，則可以不設(shè)置下面的三個伴熱。

（3）啟動預(yù)熱混合器：在主頁面上點擊預(yù)熱混合器的“設(shè)置”按鈕，進(jìn)入預(yù)熱混合器的設(shè)置界面。把出口氣體溫度控制部分的SV設(shè)置為所需的目標(biāo)溫度。超溫保護(hù)設(shè)置，通常出廠已經(jīng)設(shè)置好。

（4）在主機(jī)前面板上，打開加熱開關(guān)。

2.6.3 發(fā)生混合氣體

待上述3個部件都達(dá)到預(yù)熱溫度后：
（1）在主頁面上點擊質(zhì)量流量計的“設(shè)置”按鈕，進(jìn)入質(zhì)量流量計設(shè)置頁面，可以調(diào)節(jié)載氣流量。

（2）在主頁面上點擊進(jìn)液泵的“設(shè)置”按鈕