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1.1概述

水蒸氣蒸發(fā)混合器是一種可以產生含水蒸汽混合氣體的裝置。它可以產生水蒸氣與另外一路氣體以任意比例混合的氣體，且該氣體的流量和溫度皆可連續(xù)調節(jié)。適用于CEM3002、CEM3020和CEM3080等型號。

1.2 工作原理

1.2.1主機部分
主機由1路氣體流量計量模塊、1路水蒸氣計量蒸發(fā)模塊、1個氣體預熱混合器和系統(tǒng)控制平臺組成。水通過計量泵精確計量流量后進入蒸發(fā)器，并且得到完全蒸發(fā)。另外1路載氣經過質量流量計計量流量后，與水蒸氣在預熱混合器中進行充分混合后輸出。通過調節(jié)載氣的流量和水泵的流量，可以調節(jié)混合氣體中水的含量以及氣體總流量。通過預熱混合器可以調節(jié)控制混合器輸出的問題。

1.2.2定制附件：主機與應用設備伴熱連接
當主機與應用設備距離較遠時，可以定制一套伴熱連接管路。它包含3個溫控：1個電伴熱管線溫控以及2個管接頭伴熱溫控。伴熱管線是一體成型的，而管接頭伴熱采用方便拆卸的加熱帶。

1.3 參數(shù)指標

1.4 包裝清單

1.5 設備接口

前方視圖

背面視圖

2.安裝與操作
2.1 清點部件

請根據(jù)訂單清點，主要包括主機、電源線（CEM3020/CEM3002）等

2.2安裝電源

CEM3002/CEM3020電源線為16A的插頭，準備一個與現(xiàn)場220V電源聯(lián)通的插座，將插頭插入插座內。
CEM3080電源線為6mm2的三芯線纜（5.5kW），請在現(xiàn)場電工的幫助下進行電源連接。

2.3 安裝水源

CEM3080：水桶是放置在主機外面的，將主機上的進水管投入水桶中即可。
CEM3020：打開主機正面下部的門，可以將一個20L的水桶置于主機下部，將進水管投入水桶中即可。
CEM3002: 打開主機正面下部的門，可以將一個≤20L的水桶或者試劑瓶置于主機下部，將進水管投入水桶/瓶中即可。

2.4 安裝氣源

將外部氣源管插接到進氣口的快插接頭中即可。

2.5 安裝主機與應用設備之間的伴熱管

需要預約工程師現(xiàn)場確定伴熱管布置，測量所需長度后定制伴熱管，再到現(xiàn)場安裝。

注意
1.水源要采用去離子水
2. 不可用力拉扯進水管！
3.管接頭伴熱測溫的熱電偶連接線需布置妥當，放置使用中不小心扯松，導致測溫不正常燒壞伴熱帶

2.6 快速操作

2.6.1 打開設備電源
（1）在前面板上打開主控開關
（2）按下系統(tǒng)開關按鈕，啟動觸摸屏主頁面

2.6.2 預熱設備
（1）啟動蒸發(fā)器：在主頁面上點擊蒸發(fā)器“設置”按鈕，進入蒸發(fā)器設置頁面；將SV設置為所需溫度。
SV的溫度越高蒸發(fā)器的蒸發(fā)能力越強。對于CEM3020和CEM3080，SV設置為220℃和180℃可以達到設計的最大蒸發(fā)能力。

（2）啟動伴熱器：在主頁面上點擊伴熱器的“設置”按鈕，進入伴熱設置頁面。通常伴熱的溫度設置為120℃即可。如果主機和應用設備之間沒有接附件，則可以不設置下面的三個伴熱。

（3）啟動預熱混合器：在主頁面上點擊預熱混合器的“設置”按鈕，進入預熱混合器的設置界面。把出口氣體溫度控制部分的SV設置為所需的目標溫度。超溫保護設置，通常出廠已經設置好。

（4）在主機前面板上，打開加熱開關。

2.6.3 發(fā)生混合氣體

待上述3個部件都達到預熱溫度后：
（1）在主頁面上點擊質量流量計的“設置”按鈕，進入質量流量計設置頁面，可以調節(jié)載氣流量。

（2）在主頁面上點擊進液泵的“設置”按鈕